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发明名称 Lithographischer Apparat
摘要
申请公布号 DE602004010961(D1) 申请公布日期 2008.02.14
申请号 DE200460010961T 申请日期 2004.06.25
申请人 ASML NETHERLANDS B.V. 发明人 COX, HENRIKUS HERMAN MARIE;DONDERS, SJOERD NICOLAAS LAMBERTUS;HOOGENDAM, CHRISTIAAN ALEXANDER;KOLESNYCHENKO, ALEKSEY YURIEVICH;LOOPSTRA, ERIK ROELOF;VAN SANTEN, HELMAR
分类号 G03F7/20;H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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