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发明名称 Membrane sensor array and method for manufacturing thereof
摘要
申请公布号 KR100802967(B1) 申请公布日期 2008.02.14
申请号 KR20010068460 申请日期 2001.11.05
申请人 发明人
分类号 H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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