Methode, eine dielektrische Schicht abzuscheiden,申请号DE20026024379-传众专利搜索

发明名称	Methode, eine dielektrische Schicht abzuscheiden
摘要
申请公布号	DE60224379(D1)	申请公布日期	2008.02.14
申请号	DE20026024379	申请日期	2002.11.14
申请人	SAMSUNG ELECTRONICS CO. LTD.	发明人	LEE, JUNG-HYUN;CHO, YOUNG-JIN;MIN, YO-SEP
分类号	H01L21/205;H01L21/316;H01L21/02;H01L21/28;H01L21/8242;H01L27/108;H01L29/51	主分类号	H01L21/205
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