发明名称 薄膜剥离设备
摘要 一种薄膜剥离设备,其包含承载台、具有黏性的薄膜沾黏部及驱动机构。承载台用以承载基板,基板上黏贴有薄膜。薄膜沾黏部用以接触薄膜,以便将薄膜的一部分撕起并黏贴在薄膜沾黏部上。驱动机构驱动薄膜沾黏部与承载台两者之一运动,从而将薄膜剥离基板。
申请公布号 CN101123168A 申请公布日期 2008.02.13
申请号 CN200610029860.3 申请日期 2006.08.09
申请人 黄伟民 发明人 黄伟民
分类号 H01L21/00(2006.01);H05K3/00(2006.01) 主分类号 H01L21/00(2006.01)
代理机构 上海市华诚律师事务所 代理人 徐申民;张惠萍
主权项 1.一种薄膜剥离设备,其特征在于,包含:承载台,用以承载基板,所述基板上黏贴有薄膜;具有黏性的薄膜沾黏部,用以接触所述薄膜,以便将所述薄膜的一部分撕起并黏贴在所述薄膜沾黏部上;及驱动机构,驱动所述薄膜沾黏部与所述承载台两者之一运动,从而将所述薄膜剥离所述基板。
地址 中国台湾桃园县杨梅镇高鹏路2号8楼