发明名称 | 薄膜剥离设备 | ||
摘要 | 一种薄膜剥离设备,其包含承载台、具有黏性的薄膜沾黏部及驱动机构。承载台用以承载基板,基板上黏贴有薄膜。薄膜沾黏部用以接触薄膜,以便将薄膜的一部分撕起并黏贴在薄膜沾黏部上。驱动机构驱动薄膜沾黏部与承载台两者之一运动,从而将薄膜剥离基板。 | ||
申请公布号 | CN101123168A | 申请公布日期 | 2008.02.13 |
申请号 | CN200610029860.3 | 申请日期 | 2006.08.09 |
申请人 | 黄伟民 | 发明人 | 黄伟民 |
分类号 | H01L21/00(2006.01);H05K3/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/00(2006.01) |
代理机构 | 上海市华诚律师事务所 | 代理人 | 徐申民;张惠萍 |
主权项 | 1.一种薄膜剥离设备,其特征在于,包含:承载台,用以承载基板,所述基板上黏贴有薄膜;具有黏性的薄膜沾黏部,用以接触所述薄膜,以便将所述薄膜的一部分撕起并黏贴在所述薄膜沾黏部上;及驱动机构,驱动所述薄膜沾黏部与所述承载台两者之一运动,从而将所述薄膜剥离所述基板。 | ||
地址 | 中国台湾桃园县杨梅镇高鹏路2号8楼 |