| 发明名称 | 曝光装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种曝光装置，以通过有效地除去光掩模(M)和台板(5)上的粘附性灰尘而实现成品率高的曝光。第一清洁头(1)安装在输入手(3)的曝光部(20)侧，在输入手(3)进行输入动作时，刮刀(11)在预定位置伸出并接触台板(5)的上表面，随着输入手(3)的移动而在台板(5)上移动的同时除去灰尘。第二清洁头(2)安装在输出手(4)的曝光部(20)侧，在输出手(4)向曝光部(20)进行移动和/或输出动作期间进行光掩模(M)的除尘。 | ||
| 申请公布号 | CN101122750A | 申请公布日期 | 2008.02.13 |
| 申请号 | CN200710140259.6 | 申请日期 | 2007.08.07 |
| 申请人 | 株式会社阿迪泰克工程 | 发明人 | 渡辺义光 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01);H05K3/06(2006.01) | 主分类号 | G03F7/20(2006.01) |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人 | 党晓林 |
| 主权项 | 1.一种曝光装置，该曝光装置具备：装载待曝光印刷配线基板的台板；进行将该印刷配线基板装载于台板上的基板输入的基板输入装置；将该印刷配线基板从台板输出的基板输出装置；以及描绘待曝光图案的光掩模，其特征在于，该曝光装置具备：第一刮刀装置，其与上述基板输入装置联动地移动，对上述台板进行除尘，和第二刮刀装置，其与上述基板输出装置联动地移动，对上述光掩模进行除尘。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||