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发明名称 APPARATUS FOR ETCHING SEMICONDUCTOR SAMPLES AND A SOURCE FOR PROVIDING A GAS BY SUBLIMATION THERETO
摘要
申请公布号 EP1319239(B1) 申请公布日期 2008.02.13
申请号 EP20010977786 申请日期 2001.09.17
申请人 XACTIX, INC. 发明人 LEBOUITZ, KYLE, S.;MIGLIUOLO, MICHELE
分类号 B81C1/00;H01J37/32;C23F4/00;H01L21/302 主分类号 B81C1/00
代理机构 代理人
主权项
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