主权项 |
1.一种仪器,包括:a)第一组件(105,115),b)第二组件(115,125),该第二组件被所述第一组件支撑,以用于相对于所述第一组件绕第一轴(120,130)的旋转,c)第一驱动(140,160),用于绕所述第一轴旋转所述第二组件,d)第一角度传感器(145,165),其产生第一角度位置信号(705,1005,1305,1605),该第一角度位置信号表示所述第二组件相对于第一基准(205,410)的关于所述第一轴的角度位置(1,α1),e)第二角度传感器(645,945,1245,1545),其用于产生第二角度位置信号(725,1015,1325,1625),该第二角位置信号表示(A)所述第一基准相对于第二基准(200,405)的角位移(2,α2),以及(B)所述第二组件相对于第二基准(200,405)的关于所述第一轴的角度位置(2,α3)中的一个,以及f)信号处理器(740,1030,1340,1640),其通过组合所述第一角度位置信号以及所述第二角度位置信号的至少部分信号来产生所述第二组件相对于所述第二基准的第一补偿角度位置测量(45,1035,1345,1645)。 |