用于使用了线性步进电动机的对象的精密定位的方法和装置

摘要

用来使用基于工作于微步或整步模式的线性步进电动机的线性致动器、基于补偿表的控制算法和用于获得该补偿表的校准装置来精密定位对象的方法和装置。

主权项

1.一种自动生成用于校准具有台板和能够沿着所述台板以微步线性移动的冲头的线性步进电动机的补偿表的方法，所述方法包括：a)在起始位置开始，沿着第一线性方向将所述冲头移动一个或多个微步的第一间隔；b)沿着所述第一方向使用位置测量装置来确定附于所述冲头的对象的实际位置；c)与从所述起始位置开始的总微步数量相关地将所述对象的所述实际位置记录到存储器中；以及d)将步骤a)、b)和c)重复多次，直到已到达终点位置。