发明名称 Verfahren zur Herstellung von Halbleitergeraeten kleinster Abmessungen und Vorrichtung zur Ausuebung des Verfahrens
摘要
申请公布号 DE1020121(B) 申请公布日期 1957.11.28
申请号 DE1955K024957 申请日期 1955.02.19
申请人 KIELER HOWALDTSWERKE AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 HOELZEMANN WERNER
分类号 H01L21/00;H01L21/14;H01L23/31;H01L29/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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