多量程三轴加速度传感器装置

摘要

公开了一种多量程三轴加速度传感器装置，其中多个三轴加速度传感器元件在其间没有轴偏差的情况下形成于单个硅芯片中并具有不同的加速度测量量程。多个传感器元件中每个都包括配重、围绕配重的框架、以及连接配重与框架的由梁或隔膜构成的挠性构件。多个传感器元件中每个都产生彼此不同的对单位加速度的输出电压。多个传感器元件中的第一三轴加速度传感器元件使其它传感器元件形成在第一三轴加速度传感器元件的框架中，并产生比其它传感器元件大的对单位加速度的输出电压。

主权项

1.一种多量程三轴加速度传感器装置，包括在单个硅芯片中形成的多个三轴加速度传感器元件，所述多个三轴加速度传感器元件中的每个包括：配重，围绕所述配重并具有彼此相对的框架侧的框架，比所述配重和所述框架薄的挠性构件，所述挠性构件连接所述相对框架侧的上部与所述配重的上部以在所述相对框架侧的上部之间支承所述配重，和布置在所述挠性构件的上表面上的压电电阻器，用于测量在所述挠性构件的上表面中两个正交轴向上的加速度和与所述挠性构件的上表面垂直的方向上的加速度，其中所述多个三轴加速度传感器元件包括第一三轴加速度传感器元件，在所述第一三轴加速度传感器元件的框架中设置其它三轴加速度传感器元件，所述多个三轴加速度传感器元件中的每个产生彼此不同的对单位加速度的输出电压，并且来自所述第一三轴加速度传感器元件的对单位加速度的输出电压大于来自其它三轴加速度传感器元件的对单位加速度的输出电压。