发明名称 |
氧化铟-氧化锌-氧化镁类溅射靶及透明导电膜 |
摘要 |
本发明提供一种在溅射时不会产生节结的靶。另外,还提供蚀刻性优良并且特别是在400~450nm区域的透明性方面优良的非晶态透明导电膜。是含有氧化铟、氧化锌、氧化镁的溅射靶,该溅射靶在溅射时不会产生节结。另外,是含有氧化铟、氧化锌、氧化镁的非晶态透明导电膜,该非晶态透明导电膜在蚀刻性方面优良,并且400~450nm区域的光线透过率高。 |
申请公布号 |
CN101124348A |
申请公布日期 |
2008.02.13 |
申请号 |
CN200580009752.3 |
申请日期 |
2005.02.23 |
申请人 |
出光兴产株式会社 |
发明人 |
井上一吉;松原雅人;笘井重和;岛根幸朗 |
分类号 |
C23C14/34(2006.01);C23C14/08(2006.01);G02F1/1343(2006.01);H01L21/285(2006.01);H01L21/70(2006.01) |
主分类号 |
C23C14/34(2006.01) |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 |
代理人 |
朱丹 |
主权项 |
1.一种溅射靶,其特征是,含有氧化铟、氧化锌和氧化镁。 |
地址 |
日本国东京都 |