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发明名称
MICROLITHOGRAPHY PROJECTION OBJECTIVE
摘要
<p>Microlithography projection objectives for imaging into an image plane a pattern arranged in an object plane are described with respect to suppressing false light in such projection objectives.</p>
申请公布号
EP1886190(A1)
申请公布日期
2008.02.13
申请号
EP20060753801
申请日期
2006.05.23
申请人
CARL ZEISS SMT GMBH
发明人
KALLER, JULIAN;DODOC, AURELIAN;FELDMANN, HEIKO;KAMENOV, VLADIMIR;EPPLE, ALEXANDER;GRUNER, TORALF;KRAEHMER, DANIEL;PERRIN, JEAN-CLAUDE;CONRADI, OLAF;OKON, THOMAS
分类号
G03F7/20
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
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