| 发明名称 |
SILICON WAFER, METHOD FOR DETERMINING CONDITION UNDER WHICH SILICON SINGLE CRYSTAL IS PRODUCED, AND METHOD FOR PRODUCING SILICON WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1195455(A4) |
申请公布日期 |
2008.02.13 |
| 申请号 |
EP20010901424 |
申请日期 |
2001.01.18 |
| 申请人 |
SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD |
发明人 |
IIDA, MAKOTO;KIMURA, MASANORI |
| 分类号 |
C30B29/06;C30B15/00;C30B15/20;G01N21/956;G01N27/04;G01N33/00;H01L21/322;H01L21/324;H01L21/66 |
主分类号 |
C30B29/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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