可变形镜的制造方法

摘要

本发明提供一种可变形镜的制造方法，其适于大规模生产，所述方法包括：接合步骤，用于将支撑柱(5)和压电元件(4)夹在支撑基板(2)和镜基板(3)之间，并且至少分别将支撑基板与支撑柱、支撑基板与压电元件、镜基板与支撑柱相互接合；弹性膜形成步骤，用于在镜基板的外表面形成平坦的弹性膜(7)；以及反射膜形成步骤，用于在弹性膜上形成反射膜(6)。本发明的可变形镜的制造方法可以可靠地获得可变形镜，且适于大规模生产。

主权项

1.一种可变形镜的制造方法，每个所述可变形镜包括：支撑基板；镜基板，所述镜基板与所述支撑基板相对且由所述支撑柱支撑，并且所述镜基板的表面上具有反射膜；以及压电元件，所述压电元件夹在所述支撑基板和所述镜基板之间，当施加电场时，所述压电元件膨胀或收缩使所述镜基板和所述反射膜变形；且所述制造方法包括：接合步骤，用于将所述支撑柱和所述压电元件夹在所述支撑基板和所述镜基板之间，并且至少分别将所述支撑基板与所述支撑柱、所述支撑基板与所述压电元件、所述镜基板与所述支撑柱相互接合；弹性膜形成步骤，用于在所述镜基板的外表面形成平坦的弹性膜；以及反射膜形成步骤，用于在所述弹性膜上形成所述反射膜。