适合于酸生成剂的盐以及含有该盐的化学放大型正性抗蚀剂组合物

摘要

本发明提供一种式(I)表示的盐，其中，P¹、P²、P³、Q¹、Q²和R具有与权利要求书和说明书中定义的相同含义，并且还提供一种含有上述式(I)所示的盐的化学放大型抗蚀剂组合物。

主权项

1.一种式(I)表示的盐：其中，P¹、P²和P³各自独立地表示可以被选自羟基、C3-C12环烃基和C1-C12烷氧基中的至少一种取代的C1-C30烷基；或者可以被选自羟基和C1-C12烷氧基中的至少一种取代的C3-C30环烃基，条件是所有的P¹、P²和P³不同时为可以被取代的苯基，Q¹和Q²各自独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，并且R表示下式所示的基团：其中，A¹表示-OH或-Y¹-OH，n表示1至9的整数，而Y¹表示二价C1-C6饱和脂族烃基；下式表示的基团：其中，环X¹表示C3-C30单环或多环烃基，所述单环或多环烃基中一个-CH₂-基团被-CO-取代，并且在所述单环或多环烃基中的至少一个氢原子可以被C1-C6烷基、C1-C6烷氧基、C1-C4全氟烷基、C1-C6羟烷基、羟基或氰基取代；下式表示的基团：其中，环X²表示C3-C30单环或多环烃基，所述单环或多环烃基中一个-CH₂-基团的氢原子被羟基取代，并且在所述单环或多环烃基中的至少一个氢原子可以被C1-C6烷基、C1-C6烷氧基、C1-C4全氟烷基、C1-C6羟烷基、羟基或氰基取代；下式表示的基团：其中，环X³表示C3-C30单环或多环烃基，所述单环或多环烃基中一个-CH₂-基团被-COO-取代，并且在所述单环或多环烃基中的至少一个氢原子可以被C1-C6烷基、C1-C6烷氧基、C1-C4全氟烷基、C1-C6羟烷基、羟基或氰基取代，并且m表示0至12的整数；或者下式表示的基团：其中，环X⁴表示具有三环或更多环的C6-C30多环烃基，并且在所述多环烃基中的至少一个氢原子可以被C1-C6烷基、C1-C6烷氧基、C1-C4全氟烷基、C1-C6羟烷基或氰基取代，并且1表示1至12的整数。