发明名称 集成电路的可制造性设计方法
摘要 一种集成电路的可制造性设计方法,包括:对初始设计图形进行密度计算,所述密度包括局部密度及整体密度;提取图形密度;调整图形密度至目标图形密度,所述目标图形密度包括局部目标图形密度及整体目标图形密度;根据所述目标图形密度确定可制造性图形密度准则;根据所述可制造性图形密度准则改进初始设计。
申请公布号 CN101123218A 申请公布日期 2008.02.13
申请号 CN200610029907.6 申请日期 2006.08.10
申请人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 发明人 许丹;傅俊
分类号 H01L21/82(2006.01);H01L27/02(2006.01);G06F17/50(2006.01) 主分类号 H01L21/82(2006.01)
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人 逯长明
主权项 1.一种集成电路的可制造性设计方法,其特征在于,包括:对初始设计图形进行密度计算,所述密度包括局部密度及整体密度;提取图形密度;调整图形密度至目标图形密度,所述目标图形密度包括局部目标图形密度及整体目标图形密度;根据所述目标图形密度确定可制造性图形密度准则;根据所述可制造性图形密度准则改进初始设计。
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