发明名称 |
集成电路的可制造性设计方法 |
摘要 |
一种集成电路的可制造性设计方法,包括:对初始设计图形进行密度计算,所述密度包括局部密度及整体密度;提取图形密度;调整图形密度至目标图形密度,所述目标图形密度包括局部目标图形密度及整体目标图形密度;根据所述目标图形密度确定可制造性图形密度准则;根据所述可制造性图形密度准则改进初始设计。 |
申请公布号 |
CN101123218A |
申请公布日期 |
2008.02.13 |
申请号 |
CN200610029907.6 |
申请日期 |
2006.08.10 |
申请人 |
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
发明人 |
许丹;傅俊 |
分类号 |
H01L21/82(2006.01);H01L27/02(2006.01);G06F17/50(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/82(2006.01) |
代理机构 |
北京集佳知识产权代理有限公司 |
代理人 |
逯长明 |
主权项 |
1.一种集成电路的可制造性设计方法,其特征在于,包括:对初始设计图形进行密度计算,所述密度包括局部密度及整体密度;提取图形密度;调整图形密度至目标图形密度,所述目标图形密度包括局部目标图形密度及整体目标图形密度;根据所述目标图形密度确定可制造性图形密度准则;根据所述可制造性图形密度准则改进初始设计。 |
地址 |
201203上海市浦东新区张江路18号 |