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发明名称 ISOLATION VALVE FOR ENERGETIC AND HIGH TEMPERATURE GASSES
摘要
申请公布号 EP1886050(A2) 申请公布日期 2008.02.13
申请号 EP20060759304 申请日期 2006.05.08
申请人 MKS INSTRUMENTS, INC. 发明人 BESEN, MATTHEW, M.;SMITH, DONALD, K.;COLLINS, RON, JR., W.;PISERA, JAROSLAW
分类号 C23C16/452;F16K5/04;C23C16/455;F16K11/085;F16K51/00 主分类号 C23C16/452
代理机构 代理人
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