一种平面往复运动喷射沉积多层复合材料的制备设备

摘要

一种平面往复运动喷射沉积多层复合材料的制备设备，包括：真空炉体和处于真空炉体内的沉积基板升降机构、沉积基板、低温惰性气体强制冷却装置、惰性气体喷射加压装置、保护气体进气阀、坩埚喷枪组、感应加热装置、水平往复运动导板及处于真空炉体上的抽真空装置、排气阀、进气阀。沉积基板处于水平往复运动导板上。沉积基板升降机构与水平往复运动导板连接。坩埚喷枪组位于沉积基板上方，与惰性气体喷射加压装置和感应加热装置连接。低温惰性气体强制冷却装置位于沉积基板的上方。沉积基板位于水平往复运动导板上。本实用新型可以将多种金属及合金，通过熔炼，喷射制备成大块层状复合材料，通过强制冷却，可以获得大块沉积多层堆积的非晶、纳米晶金属材料。

主权项

1.一种平面往复运动喷射沉积多层复合材料的制备设备，包括真空炉体(5)，其特征在于，还包括：处于真空炉体(5)内的沉积基板升降机构(1)、沉积基板(3)、低温惰性气体强制冷却装置(4)、惰性气体喷射加压装置(6)、坩埚喷枪组(7)、感应加热装置(8)、水平往复运动导板(2)及处于真空炉体(5)上的抽真空装置(11)、排气阀(12)、保护气体进气阀(10)；沉积基板(3)处于水平往复运动导板(2)上；沉积基板升降机构(1)与水平往复运动导板(2)连接；坩埚喷枪组(7)位于沉积基板(3)上方，与惰性气体喷射加压装置(6)和感应加热装置(8)连接；低温惰性气体强制冷却装置(4)位于沉积基板(3)的上方。