| 发明名称 |
Production of microelectromechanical systems (MEMS) using the high-temperature silicon fusion bonding of wafers |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1569865(B1) |
申请公布日期 |
2008.02.13 |
| 申请号 |
EP20030782134 |
申请日期 |
2003.12.05 |
| 申请人 |
X-FAB SEMICONDUCTOR FOUNDRIES GMBH |
发明人 |
SCHWARZ, UWE |
| 分类号 |
B81C1/00;B81B3/00;B81C3/00 |
主分类号 |
B81C1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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