AT切割水晶振动片及其制造方法

摘要

本发明提供一种AT切割水晶振动片及其制造方法。本发明制造抑制了宽度切变模式的影响并改善了能量捕获效果的AT切割水晶振动片。AT切割水晶振动片具有由AT切割水晶板构成的水晶元件片及在其表面和背面主面设置的一对激励电极，AT切割水晶板构成为在水晶结晶的X轴方向具有长边的矩形，且其长边方向的侧面由作为水晶自然面的m面的第一结晶面和作为m面以外的自然面的第三结晶面两个面形成。水晶元件片的外形加工通过以下方式进行：在AT切割水晶板的表面和背面各面上以在水晶结晶的Z′轴方向彼此错位的方式形成与其外形对应的掩模，并从表面和背面两面进行湿法刻蚀。水晶元件片可形成为由作为激励部的较厚部和较薄周边部构成的台形状。

主权项

1.一种AT切割水晶振动片，其特征在于，上述AT切割水晶振动片包括：水晶元件片，其由以水晶结晶的X轴方向为长边的矩形的AT切割水晶板构成，并具有激励部；和激励电极，其设置于上述激励部的表面和背面主面上，上述激励部的长边方向的两侧面分别由水晶结晶的m面和m面以外的结晶面两个面形成。