| 发明名称 | 基板检查装置 | ||
| 摘要 | 本发明的基板检查装置具备：固定台，载置被检查体；门型臂，设置成跨越载置于该固定台上的所述被检查体；两个检查头，中间夹着该门型臂的水平梁、且以相互背对的状态设置。 | ||
| 申请公布号 | CN100368794C | 申请公布日期 | 2008.02.13 |
| 申请号 | CN02821929.5 | 申请日期 | 2002.11.05 |
| 申请人 | 奥林巴斯株式会社 | 发明人 | 藤崎畅夫;伊藤一也 |
| 分类号 | G01N21/958(2006.01);G01N21/88(2006.01) | 主分类号 | G01N21/958(2006.01) |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 黄剑锋 |
| 主权项 | 1.一种基板检查装置，其特征在于，具备：载物台，载置被检查体；门型臂，跨越载置于该载物台上的所述被检查体，具有与该被检查体的上表面平行的水平梁；两个检查头，中间夹着该门型臂的水平梁、且以相互背对的状态设置。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||