| 发明名称 | 湿处理盘状基片的部件和方法 | ||
| 摘要 | 公开一种利用超声能湿处理平板状基片的部件以及与该部件关联的方法。 | ||
| 申请公布号 | CN100369187C | 申请公布日期 | 2008.02.13 |
| 申请号 | CN200480017649.9 | 申请日期 | 2004.06.17 |
| 申请人 | SEZ股份公司 | 发明人 | 雷纳·奥博维格;亚历山大·普法尤弗;马丁·科夫勒;亚历山大·利珀特 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01);H01L21/68(2006.01) | 主分类号 | H01L21/00(2006.01) |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 王萍 |
| 主权项 | 1.一种用于湿处理晶片的部件，包括：第一板；大致平行于所述第一板的第二板；保持装置，用于在所述第一板和所述第二板之间大致和所述板平行地保持晶片；第一分配装置，用于在处理时把液体引入所述第一板和晶片之间的第一间隙中；第二分配装置，用于在处理时把液体引入所述第二板和晶片之间的第二间隙中；按声学方式至少与所述第二板耦合的至少一个振动元件；以及转动装置，用于绕大致垂直于所述第二板的轴彼此相对地转动所述保持装置和所述第二板。 | ||
| 地址 | 奥地利菲拉赫 | ||