| 发明名称 | 一种废液处理装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种废液处理装置，包括：本体，其具有第一入口、第一出口、第二出口；进水管，其通入本体内；喷淋装置，其设于本体内；还包括：过滤装置，其设于本体内的第一入口和第二出口之间；所述喷淋装置包括上板、下板、气体通道、喷淋件；上下板在本体内间隔形成一个空间结构，进水管连通于该空间结构；气体通道贯穿设置于上板和下板间，喷淋件设于下板上并与该空间结构相连通。本发明废液中的废气的处理效率得到提高；同时使维修方便，节省了维修成本。 | ||
| 申请公布号 | CN100368306C | 申请公布日期 | 2008.02.13 |
| 申请号 | CN200510023652.8 | 申请日期 | 2005.01.26 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 李景伦 |
| 分类号 | C02F1/00(2006.01);B01D53/34(2006.01) | 主分类号 | C02F1/00(2006.01) |
| 代理机构 | 北京市金杜律师事务所 | 代理人 | 李勇 |
| 主权项 | 1.一种废液处理装置，包括：本体，其具有第一入口、第一出口、第二出口；进水管，其通入本体内；喷淋装置，其设于本体内；其特征在于，还包括：过滤装置，其设于本体内的第一入口和第二出口之间；所述喷淋装置包括上板、下板、气体通道、喷淋件；上下板在本体内间隔形成一个空间结构，进水管连通于该空间结构；气体通道贯穿设置于上板和下板间，喷淋件设于下板上并与该空间结构相连通。 | ||
| 地址 | 201203上海市浦东新区张江高科技园区张江路18号 | ||