| 主权项 |
1.一种点测机之校正方法,包含以下步骤: (A)提供测试晶圆及标准测値:购买者提供一测试用 晶圆及数由该测试晶圆上之数晶粒检测出的标准 测値,该等标准测値是藉由一作为标准用的点测机 所检测出; (B)输入标准测値:将上述标准测値输入欲进行校正 的一量产型点测机的控制系统内,并显示于一系统 画面上; (C)检测出机台测値并记录:使用该量产型点测机检 测该测试晶圆上的晶粒,以得出数相对应的机台测 値,且将该等机台测値记录于该量产型点测机控制 系统内,并显示于该系统画面上,同时该控制系统 亦记录该等晶粒之位置; (D)计算校正値:该量产型点测机之控制系统主动将 上述机台测値与标准测値一一比对,并据以计算出 校正値而求出一换算公式; (E)储存校正値并转至测试设定:将上述校正値储存 ,并使原本之系统画面切换至一测试设定画面,以 进行测试调整,且同时将上述校正値输入于该测试 设定画面中; (F)进行自动回校并记录回校测値:测试设定完成后 ,再切换回原本之系统画面,并按下一自动回校按 键,则该量产型点测机依据先前记录之晶粒位置自 动进行检测,以得出数相对应的回校测値,并将该 等回校测値记录于该量产型点测机控制系统内,并 显示于该系统画面上;及 (G)比对回校测値与标准测値:将上述回校测値与标 准测値相比对,如相当接近,则该量产型点测机校 正完成,如差异颇大,则重新进行步骤(C)至步骤(G) 之流程。 2.依据申请专利范围第1项所述之点测机之校正方 法,更包含一步骤(D-1)进行补偿试算:于系统画面上 按下一补偿试算按键,使该控制系统依据换算公式 将上述机台测値换算成数补偿试算値,并显示于该 系统画面上,藉此,比对该等补偿试算値与标准测 値,可查出该等标准测値、机台测値是否输入错误 。 3.依据申请专利范围第1项所述之点测机之校正方 法,其中,该步骤(B)中输入标准测値之方式,是将购 买者提供之电子档直接滙入该量产型点测机的控 制系统内取得。 4.依据申请专利范围第1项所述之点测机之校正方 法,其中,该步骤(D)之换算公式为二元一次方程式 。 5.依据申请专利范围第1项所述之点测机之校正方 法,其中,该步骤(E)储存校正値后,该系统画面自动 切换至测试设定画面,且校正値自动输入显现于该 测试设定画面中。 图式简单说明: 图1是习用点测机之校正方法的流程图; 图2是本发明点测机之校正方法的一较佳实施例的 流程图; 图3是该较佳实施例中之一系统画面图,说明数标 准测値及机台测値输入且计算完成时之情形; 图4是该较佳实施例中之一系统画面图,说明按下 一补偿试算按键而得出数补偿试算値时之情形; 图5是该较佳实施例中之一测试设定画面,说明欲 进行测试设定时之情形;及 图6是该较佳实施例中之一系统画面图,说明按下 一自动回校按键而得出数回校测値时之情形。 |
