光罩基板用夹具

摘要

【物品用途】本创作的物品是一种光罩基板用夹具，乃用于保持光罩基板并使其旋转，在基板表面涂布处理液的光罩基板用夹具。如使用状态参考图及安装光罩基板状态之参考剖面图所示，将本物品安装置在旋转的轴，且将光罩基板载置在本物品之上面的基板载置部而使用。【创作特点】如各图所示，在光罩基板用夹具的各边设有基板定位部及基板载置部，在夹具的基部设有两列排列在同心圆上，即不同圆周上的复数个圆弧状的洗净液吐出用狭孔，在外侧的洗净液吐出用狭孔彼此间配置内侧的洗净液吐出用狭孔，还将光罩基板用夹具之外周的叶片部形成薄板状，并且在该叶片部的背面设有复数个放射状的补强肋；综上所述，本创作于设计上深具顺畅流利之操作感，整体外观于视觉效果上达到机械美感性及独创性之优点。