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发明名称
METHOD FOR FORMING TRENCH USING HIGH SELECTIVITY HARD MASK AND METHOD FOR ISOLATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE USNIG THE SAME
摘要
申请公布号
KR100801308(B1)
申请公布日期
2008.02.11
申请号
KR20050108315
申请日期
2005.11.12
申请人
发明人
分类号
H01L21/76
主分类号
H01L21/76
代理机构
代理人
主权项
地址
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