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发明名称 REACTION TUBE
摘要
申请公布号 KR100802233(B1) 申请公布日期 2008.02.11
申请号 KR20070110899 申请日期 2007.11.01
申请人 发明人
分类号 H01L21/20;C23C16/44;C23C16/452;C23C16/455;C23C16/458;H01J37/32 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
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