| 主权项 |
1.一种微影系统,包含: 一隔离结构,系藉由一非隔离结构所支撑,其中该 隔离结构则支撑着一移动台座; 一线性马达,包括第一线性马达元件及第二线性马 达元件,其中该第一线性马达元件系连接到移动台 座上; 多数挠曲板,用以将该第二线性马达元件安装在该 隔离结构上;及 一挠曲杆,系连接在该非隔离结构与该第二线性马 达元件之间。 2.如申请专利范围第1项之微影系统,其中该隔离结 构系藉由至少一气动固定件而支撑在非隔离结构 上。 3.如申请专利范围第1项之微影系统,进一步包含: 一台座导引轨,系安装在该隔离结构上,以便导引 该移动台座的运动。 4.如申请专利范围第1项之微影系统,其中该挠曲杆 包括一十字形挠曲部。 5.如申请专利范围第4项之微影系统,其中该挠曲杆 包括一第一双切挠曲部及一第二双切挠曲部,其中 该十字形挠曲部系串联在该第一双切挠曲部与该 第二双切挠曲部之间。 6.如申请专利范围第1项之微影系统,其中该挠曲杆 包括旋转轴承、球状接头及万向接头的至少之一 。 7.如申请专利范围第1项之微影系统,进一步包含: 一第二线性马达,具有第一线性马达元件及第二线 性马达元件,其中第二线性马达的第一线性马达元 件系连接至该移动台座上; 多数第二挠曲板,用以将该第二线性马达的第二线 性马达元件安装在该隔离结构上;及 一第二挠曲杆,系连接在非隔离结构与该第二线性 马达的该第二线性马达元件之间。 8.如申请专利范围第6项之微影系统,其中架构该第 一与第二线性马达,以便控制该移动台座在第一轴 内的运动。 9.如申请专利范围第1项之微影系统,其中第一移动 台座支撑着一第二移动台座,此微影系统进一步包 含: 一第二线性马达,具有第一线性马达元件及第二线 性马达元件,其中第二线性马达的第一线性马达元 件系连接至该第二移动台座上; 多数第二挠曲板,用以将该第二线性马达的第二线 性马达元件安装在该第一移动台座上;及 一第二挠曲杆,系连接在非隔离结构与该第二线性 马达的该第二线性马达元件之间。 10.如申请专利范围第9项之微影系统,其中架构该 第一线性马达,以便控制第一移动台座在第一轴上 的运动,且架构该第二线性马达,以便控制第二移 动台座在第二轴上的运动。 11.如申请专利范围第10项之微影系统,其中该第一 轴大致上垂直于该第二轴。 12.如申请专利范围第9项之微影系统,进一步包含: 一台座导引轨,系安装在第一移动台座上,以便导 引第二移动台座在第二轴上之运动。 13.如申请专利范围第9项之微影系统,进一步包含: 一第三线性马达,具有第一线性马达元件及第二线 性马达元件,其中第三线性马达的第一线性马达元 件系连接至该第二移动台座上; 多数第三挠曲板,用以将该第三线性马达的第二线 性马达元件安装在该第一移动台座上;及 一第三挠曲杆,系连接在非隔离结构与该第三线性 马达的该第二线性马达元件之间。 14.如申请专利范围第13项之微影系统,其中架构该 第二与第三线性马达,以便控制第二移动台座在第 二轴上的运动。 15.如申请专利范围第1项之微影系统,其中该第一 线性马达元件包括一线性马达线圈,且该第二线性 马达包括一线性马达定子。 16.一种微影系统中所使用的反应负荷管理设备,该 微影系统包括一线性马达及一隔离结构,其中隔离 结构系藉由一非隔离结构所支撑,隔离结构则支撑 着一移动台座,线性马达包括第一线性马达元件及 第二线性马达元件,第一线性马达元件系连接到该 移动台座上,该反应负荷管理设备包含: 多数挠曲板,用以将第二线性马达元件安装在隔离 结构上;及 一挠曲杆,系连接在隔离结构与第二线性马达元件 之间。 17.一种微影系统中所使用的反应负荷管理设备,该 微影系统包括一线性马达及一隔离结构,其中隔离 结构系藉由一非隔离结构所支撑,隔离结构则支撑 着一移动台座,线性马达包括第一线性马达元件及 第二线性马达元件,第一线性马达元件系连接到该 移动台座上,该反应负荷管理设备包含: 一挠曲机构,用以将第二线性马达元件安装在隔离 结构上;及 一挠曲杆,系连接在非隔离结构与第二线性马达元 件之间。 18.一种用于组装微影系统之方法,其特征在于包含 以下步骤: (a)将一移动台座支撑在一隔离结构上; (b)将一线性马达的第一线性马达元件连接至该移 动台座上; (c)藉由多数挠曲板而将线性马达的第二线性马达 元件安装在该隔离结构上;及 (d)将一挠曲杆连接在非隔离结构与第二线性马达 元件之间。 19.如申请专利范围第18项之方法,进一步包含以下 步骤: (e)将一隔离结构支撑在一非隔离结构上。 20.如申请专利范围第19项之方法,其中该步骤(e)进 一步包含以下步骤: 藉由至少一气动固定件将隔离结构支撑在非隔离 结构上。 21.如申请专利范围第18项之方法,进一步包含以下 步骤: (e)将一台座导引轨安装在隔离结构上,以便导引移 动台座的运动。 22.如申请专利范围第18项之方法,进一步包含以下 步骤: (e)形成该挠曲杆。 23.如申请专利范围第22项之方法,其中该步骤(e)进 一步包含以下步骤: 形成该挠曲杆,以便包括至少一十字形挠曲杆部。 24.如申请专利范围第23项之方法,其中该步骤(e)进 一步包含以下步骤: 将该十字形挠曲杆部连接在第一双切挠曲杆部与 第二双切挠曲杆部之间。 25.如申请专利范围第22项之方法,其中该步骤(e)进 一步包含以下步骤: 形成该挠曲杆,以便包括旋转轴承、球状接头与万 向接头的至少之一。 26.如申请专利范围第18项之方法,进一步包含以下 步骤: (e)将第二线性马达的第一线性马达元件连接到移 动台座上; (f)藉由多数第二挠曲板将第二线性马达的第二线 性马达元件安装在隔离结构上;及 (g)将第二挠曲杆连接在非隔离结构与第二线性马 达的第二线性马达元件之间。 27.如申请专利范围第26项之方法,进一步包含以下 步骤: (h)架构第一及第二线性马达,以便控制移动台座在 第一轴上的运动。 28.如申请专利范围第18项之方法,进一步包含以下 步骤: (e)将第二轴移动台座部支撑在移动台座上,其中该 移动台座是可以沿着第一轴产生移动; (f)将第二线性马达的第一线性马达元件连接至第 二轴移动台座部上; (g)藉由多数第二挠曲板将第二线性马达的第二线 性马达元件安装在移动台座上;及 (h)将第二挠曲杆连接在非隔离结构与第二线性马 达的第二线性马达元件之间。 29.如申请专利范围第28项之方法,进一步包含以下 步骤: (i)架构第一线性马达,以便控制移动台座在第一轴 上的运动;及 (j)架构第二线性马达,以便控制第二轴移动台座部 在第二轴上的运动。 30.如申请专利范围第29项之方法,进一步包含以下 步骤: (k)架构第一轴,使其大致上调准垂直于第二轴。 31.如申请专利范围第29项之方法,进一步包含以下 步骤: (k)将一台座导引轨安装在移动台座上,以便导引第 二轴移动台座部在第二轴上之运动。 32.如申请专利范围第29项之方法,进一步包含以下 步骤: (l)将第三线性马达的第一线性马达元间连接至第 二轴移动台座部上; (m)藉由多数第三挠曲板将第三线性马达的第二线 性马达元件安装在移动台座上;及 (n)将第三挠曲杆连接在非隔离结构与第三线性马 达的第二线性马达元件之间。 33.如申请专利范围第32项之方法,进一步包含以下 步骤: (o)架构第二及第三线性马达,以便控制第二轴移动 台座部在第二轴上的运动。 34.如申请专利范围第18项之方法,其中第一线性马 达元件包括一线性马达线圈,且第二线性马达元件 包括一线性马达定子,其中该步骤(b)进一步包括以 下步骤: 将线性马达线圈连接至该移动台座上;及 其中该步骤(c)进一步包含以下步骤: 藉由多数挠曲板将线性马达定子安装在隔离结构 上。 图式简单说明: 图1显示本发明一实施例的单轴反应负荷管理装置 ; 图2是一立体图,显示一隔离系统,其具有本发明一 实施例的单轴反应负荷管理装置; 图3A显示一气动隔离器; 图3B以两视图显示一相对位置感测器; 图3C以两视图显示一洛伦兹起动器(Lorentz actuator); 图4是一立体图,显示一隔离系统,其具有本发明一 实施例的双轴反应负荷管理装置; 图5是一立体图,显示本发明一实施例的样品挠曲 杆; 图6显示本发明一实施例的样品挠曲杆; 图7是图6所示的挠曲杆之三维立体图; 图8是一三维立体图,显示本发明另一实施例的挠 曲杆; 图9显示一微影系统的相关部位; 图10显示本发明一实施例的样品挠曲机构; 图11到14显示本发明实施例的样品挠曲板; 图15A及15B是剖面图,显示根据本发明实施例中挠曲 板中的样品切片; 图16A到16G显示操作步骤,用以组装本发明的实施例 ; 图17A及17B显示本发明的挠曲杆的另一实施例; 图17C是一三维立体图,显示图17A中所示的挠曲杆。 |
