| 主权项 |
1.一种探针卡,其系用来检查受检体之电性特性者; 且包含: 接触器,其系在受检体侧之一面上支持探针; 电路基板,其系面向上述接触器之另一面,与上述 接触器电性连接;及 连接体,其系介于上述接触器之另一面与上述电路 基板之间,电性连接上述接触器及上述电路基板, 具有弹性, 上述连接体以与上述接触器之外周侧相比,靠近中 央侧之部分的弹性较小之方式形成。 2.如请求项1之探针卡,其中 上述连接体形成为与上述接触器之另一面接触之 薄片状; 上述连接体以随着由上述接触器外周侧靠近中央 侧而弹性分段变小之方式形成。 3.如请求项2之探针卡,其中 上述连接体由平面来看,以上述接触器之中心为圆 心之同心圆状形成有弹性不同之区域。 4.如请求项1之探针卡,其中 上述连接体为被配置在上述接触器之另一面内之 复数个连接销; 在上述接触器之另一面之中央侧配置有比外周侧 之连接销弹性更小之连接销。 图式简单说明: 图1系探针装置之构造之概略之纵向剖面图。 图2系弹性薄片之平面图。 图3系弹性薄片之纵向剖面图。 图4系弹性薄片及接触器之平面图。 图5系显示使晶圆接触到探针时之接触器上所受之 负重的探针装置之纵向剖面图。 图6系具有复数个连接销之探针装置的构造之概略 之纵向剖面图。 图7系连接销之构造之纵向剖面图。 图8系为了说明接触器之区域的接触器之平面图。 |
