| 主权项 |
1.一种基板移运装置,包括: 一基座,其一端装设在已固定的装置上,另一端由 机械手臂装设其上; 一机械手臂,装设在基座上,并其上装设有夹爪,并 其系将所需移动之基板撑起并移动至基板搬运架 上; 一夹爪,连结于该机械手臂上; 一基板搬运架,其上装设有一撑板,其系利用撑板 将机械手臂搬移之基板移运至该基板的置放位置; 一撑板,连结于该基板搬运架上,用以撑起及支撑 住该基板; 其特征在于: 该撑板上有多数个吸嘴,将放置之基板稳固吸附加 以移运,且该撑板系为可配合基板大小、数量移运 之复数个撑板,供以同时间移运不同之基板于配料 盘上。 2.如申请专利范围第1项所述之一种基板移运装置, 其夹爪为固定式夹爪,夹爪数为固定不变。 3.如申请专利范围第1项所述之一种基板移运装置, 其夹爪为伸缩式夹爪,可依照所需移运之基板大小 与数量伸缩变换夹爪数。 4.如申请专利范围第1项所述之一种基板移运装置, 其夹爪为可更换式夹爪,其夹爪可照所需移运之基 板大小与数量更变换所配合之夹爪。 5.如申请专利范围第1项所述之一种基板移运装置, 其撑板系为独立式撑板,可依照所需移运之基板大 小与数量自动移动动独立之撑板移运基板。 6.如申请专利范围第1项所述之一种基板移运装置, 其撑板系为组立式撑板,可依照所需移运之基板大 小与数量自动移动动组立(多个撑板为一组)之撑 板移运基板。 7.如申请专利范围第1项所述之一种基板移运装置, 其撑板上之吸嘴为软式吸嘴。 8.如申请专利范围第1项所述之一种基板移运装置, 其撑板上之吸嘴为硬式吸嘴。 9.如申请专利范围第1项所述之一种基板移运装置, 其撑板上之吸嘴为加装弹簧机构之软式吸嘴。 10.如申请专利范围第1项所述之一种基板移运装置 ,其撑板上之吸嘴为加装弹簧机构之硬式吸嘴。 图式简单说明: 第一图 系为本发明基板移运装置示意图; 第二图 系为本发明基板移运装置之搬运架与夹爪 相互配合示意图; 第三图 系为本发明基板移运装置之大尺寸基板搬 运实施例图; 第四图 系为本发明基板移运装置之两中尺寸基板 搬运实施例图; 第五图 系为本发明基板移运装置之两个以上不同 尺寸基板搬运实施例图; |
