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发明名称
形成半导体于绝缘结构上之方法
摘要
本发明揭示出一种黏接半导体薄膜于长方形基板(22)上。该方法有可能由圆形前身半导体晶片外延出长方形半导体薄膜,因而提供有效地以半导体薄膜覆盖基板。该方法包含下列步骤:藉由晶片离子植入在前身晶片(10)中产生受损区域(12),去除部份晶片(16)以形成突出部份(18),黏接晶片(10)突出部份至基板(22),以及外延黏接之突出部份。
申请公布号
TW200807618
申请公布日期
2008.02.01
申请号
TW096117001
申请日期
2007.05.11
申请人
康宁公司
发明人
马克史考克
分类号
H01L21/76(2006.01);H01L21/84(2006.01)
主分类号
H01L21/76(2006.01)
代理机构
代理人
吴洛杰
主权项
地址
美国
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