多层式负戴锁定室与传送腔及适于接合上述的机械臂

摘要

本发明系揭露一种用以处理基材的新式设备。具有4个环境隔离室的多层式负载锁定室系与具有机构组件的传送腔接合。机械组件具有二臂手，当机械组件顺着其轴转动时，各个臂手可独立地水平及垂直移动。臂手可延伸到负载锁定室的隔离室中而自下方隔离室接收基材、传送基材至处理室、接着将基材放置到上方隔离室。负载锁定室中的隔离室可具有枢接上盖，其可打开以进入隔离室内部。