| 摘要 |
提供适当地密封容器本体与盖体之间，可抑制气体等侵入至容器本体内而污染基板的基板收纳容器。具备：收纳半导体晶圆所构成的基板的容器本体1，及装卸自如地嵌入于容器本体1的开口正面部7的盖体20，及密封容器本体1与盖体20之间的可压缩变形的密合垫30，在容器本体1的开口正面部7内周，形成密合垫30用的密封面11，而将其平坦度的最大值与最小值的相差作成未满0.50㎜，而且在盖体20，将密合垫30用的安装部22形成框形。又，密合垫30是由：装设于安装部22的基体31，及从基体31朝密封面11方向伸长的可挠性密封片34，及屈曲形成于密封片34的前端部而压接于密封面11的接触部36所形成。 |
