处理装置

摘要

本发明之课题在于，提供一种无需增加既有单载型（single loader type）之处理装置的面积（footprint），就可增设装载埠来变更成双载型（dual loader type）之处理装置，而且可利用既有自动搬送线来实现晶圆搬送之完全自动化的处理装置。其解决手段在于，本发明之装载器室11，系具备：前后2个之第1、第2装载埠13A、13B，间隔预定距离而配置在探针室12之侧方，用以设置晶圆；副吸盘18，配置在第2装载埠13B之下方且进行晶圆之定位；和晶圆搬送装置14，具有配置于第1、第2装载埠13A、13B之间且在副吸盘18与探针室12之间搬送晶圆之可旋转、升降的搬送机械臂141。