测量组件及具备该测量组件之搬运系统

摘要

〔结构〕在与液晶显示器的基板的卡匣几乎同尺寸的测量组件2，设置：喷雾发生部8及喷雾放出配管10、雷射光源12、高速照像机14，依据被雷射光照射的喷雾的动向，测量出清净空气流的方向及流速的分布。且由粒子感测器16求得粒子的大小及数量，由加速度感测器18测量组件2的振动。由塔式起重机让测量组件2出入棚架22，测量棚架中的保管时的清净环境，并测量搬运中的振动。〔效果〕可以自动测量棚架中的清净空气的流速分布或粒子的大小及数量。