| 摘要 |
本发明之目的在于提供，将碳化矽或氮化铝等进行加压压缩加以制造时，可高度地保持制品品质，并且可大宽度地提升作业效率或良品率之以膨胀石墨为材料的脱模用薄片。用以解决课题之手段为，一种脱模用薄片，是配置于模具之外侧构件1b的内面与二氧化矽粉末M之间，由膨胀石墨所构成的脱模用薄片4，其特征为：以下述式子（1）所示的气体透过率为1.0×10-4㎝2／s以下，气体透过率＝Q．L／（ΔP．A） （1）再者，在上述式子（1），Q为气体流量（Pa．㎝3／s），ΔP为2个处理室间之压力差（Pa），A为脱模用薄片的气体透过面积即连通2个处理室之通路的面积（㎝2），L为脱模用薄片的厚度（㎝）。 |
