量测流速及流量之方法及系统

摘要

兹提供一种用于测量半导体制程液体流束之流动的系统、装置及方法。该液体流束系经由一液体传送喷嘴来传送。该喷嘴适于分配半导体制程的液体。该自由流束系由一靠近该喷嘴之上游位置延伸至一下游位置。该流束在上游位置会作标示并于下游位置测量以判定该流动。