载置台构造及热处理装置

摘要

本发明是在于提供一种可装卸地将发热板设置于发热板收容容器内来构成载置台，而得以替换或更换发热板之载置台构造及使用该载置台构造的热处理装置。载置台构造29系具有：载置台32，其系配置于处理容器4内，为了对被处理体W施以所定的热处理，而载置上述被处理体；及筒体状的支柱30，其系使上述载置台由上述处理容器的底部立起而支持。又，上述载置台32系具有：发热板40，其系将由电气加热源所构成的发热体38埋入耐热性材料中而成；及发热板收容器42，其系于内部可收容上述发热板，由耐热耐腐蚀性材料所构成。又，发热板收容容器42系包含：容器本体76，其系具有开口；及盖部78，其系安装于容器本体76。藉此，可替换或更换发热板40。