脉冲式化学品分配系统

摘要

本发明关于一节省成本之液体处理单元（100）。根据本发明，一控制单元（152）系连接至一控制阀（118、120、122）之一输入埠，且系调适以根据归因于该基板的给定或所要温度及／或该基板处一气体周围环境的给定或所要压力所导致的该基板上一处理液体之蒸发率，设定用于该液体处理而欲施加至该基板的分配脉冲数量、设定个别分配脉冲的一个别脉冲持续时间、及设定该等个别分配脉冲之间的个别分配中断时段。如此一来，处理液体的使用减小至最小量，因而减少用于提供及清洗处理液体的成本。