发明名称 在积体电路中避免浅沟槽
摘要 标准胞元设计之扩散区在胞元边界上被桥接。减少了浅沟槽隔离,且减少了氮化物钝化厚度的差异。
申请公布号 TW200807617 申请公布日期 2008.02.01
申请号 TW096111381 申请日期 2007.03.30
申请人 英特尔股份有限公司 发明人 杰佛瑞 戴维斯;拉杰许利 多达马尼;朱标华;杜克 努元;达斯哈那 瑟提;伊娃 尹姆
分类号 H01L21/76(2006.01);H01L21/30(2006.01) 主分类号 H01L21/76(2006.01)
代理机构 代理人 林志刚
主权项
地址 美国