保持装置及曝光装置

摘要

标线片（R）系由位在其＋X及-X端部之柔软的标线片保持具（72A、72B）所支持，因此，就算是在标线片的被支持部分存有凹凸状况，亦能由标线片保持具表面仿效该凹凸状况而变形，而能极力避免标线片的变形。又，标线片保持具系藉由以不位在同一直线上的3点来抵接之支持插销（84A～84C），而决定在该抵接部分之高度方向（Z轴方向）的位置，且，能藉由内含以不位在同一直线上的3点而抵接之活塞构件（86A～86C）之自重消除机构，来避免因标线片与标线片保持具的自身重量造成之挠曲。