载台装置、曝光装置及元件制造方法

摘要

一种载台装置（WST）具备：基座部（63）；对基座部（63）可移动之第一移动构件（62）；保持物体（W），并且对第一移动构件（62）可移动之第二移动构件（61）；及计测照射于物体W之能亮光束（energy beam）（EL）的特性之计测装置（100、120）。计测装置（100、120）之至少一部分设置于第一移动构件（62）。