制作彩色滤光阵列之方法

摘要

一种制作彩色滤光阵列之方法。首先提供一基底，且该基底表面包含有一介电层与一保护层。然后进行一第一图案转移制程，以形成一凹槽（trench）于该介电层与该保护层中。接着形成一彩色滤光片于该凹槽内并覆盖部分该保护层表面，并进行一化学机械研磨（chemical mechanical polishing）制程，使该彩色滤光片形成一平坦表面，且该彩色滤光片之表面系与该保护层之表面齐平。