非接触式晶圆切割刀之刀高磨损与刀具偏心量测补偿方法

摘要

一种非接触式晶圆切割刀之刀高磨损与刀具偏心量测补偿方法，尤特指刀具下移时，从未遮到光束时的电压值，直到完全遮断光束且达到指定位置时的电压值，再利用内插法计算出同样电压值下刀具的高度差与偏心值，计算平均高度差与偏心值，以计算出之平均高度差与偏心值作刀高与进刀速度的补偿，为其特征者。