内连线结构、其制造方法以及晶圆的结构

摘要

本发明提供一种内连线的结构，包括：至少一第一内连线层及一第二内连线层，于该第一及第二内连线层中分别具有一第一及第二接合垫结构，该第一及第二接合垫结构分别具有一第一及第二接合垫密度，其中于该第二内连线层中之该第二接合垫结构之该第二接合垫密度与于第一内连线层中之该第一接合垫结构之该第一接合垫密度不同，并且该第一及第二接合垫结构互相连接。