SUBSTRATE PROCESSING METHOD,申请号KR20057015979-传众专利搜索

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发明名称	SUBSTRATE PROCESSING METHOD
摘要
申请公布号	KR100800638(B1)	申请公布日期	2008.02.01
申请号	KR20057015979	申请日期	2005.08.26
申请人		发明人
分类号	H01L21/31;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/318;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/31	主分类号	H01L21/31
代理机构		代理人
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