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发明名称
System for environment control of mini clean room by automatic control
摘要
申请公布号
KR100800333(B1)
申请公布日期
2008.02.01
申请号
KR20050087733
申请日期
2005.09.21
申请人
发明人
分类号
G05B23/02
主分类号
G05B23/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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