Verfahren zur Qualitätsbestimmung einer Lichtquelle

摘要

Es werden Verfahren zur Bestimmung einer Qualität einer Lichtquelle angegeben, die in einen photolithographischen Prozess verwendet wird. Ein Bildsensor-Array wird mit einem Licht von einer Lichtquelle belichtet (300). Es werden Adressen und entsprechende Intensitäten gesammelt, die einer Vielzahl von Stellen auf der Pupillenabbildung (400) entsprechen, die die Intensität des Lichts auf dem Bildsensor-Array repräsentiert. Es wird wenigsten eine innere Kurve (C1) oder eine äußere Kurve (C2) der Pupillenabbildung (400), basierend auf den gesammelten Adressen und entsprechenden Intensitäten, gebildet. Die Lichtquelle wird in einem photolithographischen Prozess verwendet, wenn die Adressen ein vorherbestimmtes Muster in Bezug wenigstens auf die innere Kurve (C1) oder die äußere Kurve (C2) aufweisen.