PRESSURE MEASURING SENSOR

摘要

Es ist ein trockener frontbündiger Druckmessaufnehmer, der in einem großen Temperaturbereich zuverlässige Messungen ermöglicht, vorgesehen mit einen Prozessanschluss (1, 1a, 1b) aus einem Edelstahl, der dazu dient, den Druckmessaufnehmer an einem Messort zu befestigen, einem Drucksensormodul (3, 17, 29, 41), mit einer Halterung (5, 19, 31, 43) aus einem Edelstahl, in die frontbündig mittels einer rein metallischen Verbindung eine metallische Trennmembran (7, 23, 35, 51) eingesetzt ist, auf deren Außenseite im Messbetrieb ein zu messender Druck (p) einwirkt, die frontbündig mittels einer rein metallischen Verbindung in den Prozessanschluss (1, 1a, 1b) eingesetzt ist, und einer von der Halterung (5, 19, 31, 43) getragenen Titanronde (7, 27, 53), auf der ein Saphirträger (13) mit darin eingebrachten Siliziumsensoren (15) aufgebracht ist, die die Trennmembran (7) bildet oder mechanisch derart mit der Trennmembran (23, 35, 51) verbunden ist, dass eine Auslenkung der Trennmembran (23, 35, 51) eine korrespondierende Auslenkung der Titanronde (27) bewirkt.