Optisches System zur Oberflächenvermessung

摘要

Bei einem optischen System zur Oberflächenvermessung besteht die Aufgabe, die Abhängigkeit der Messzeit und der Messgenauigkeit von den Verfahrachsen kostengünstig zu verringern oder zu beseitigen, um ein großes Messfeld in möglichst kurzer Dauer mit optischen Mitteln verarbeiten zu können. Das optische System zur Oberflächenvermessung enthält in einem Strahlengang nacheinander eine Strahlungsquelle zur Erzeugung eines Abtaststrahls, eine Strahlablenkeinrichtung, ein zur seriellen Abtastung der zu vermessenden Oberfläche vorgesehenes Scanning-Objektiv, auf das der Abtaststrahl durch die Strahlablenkeinrichtung strahleingangsseitig mit veränderbarem Einfallswinkel gerichtet ist, und ein optisches Wegmesssystem.